南京光电科技 南京波长光电申请大数值孔径混波直写光刻镜头专利,兼具紫外宽光谱等优势

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南京波长光电申请大数值孔径混波直写光刻镜头专利,兼具紫外宽光谱等优势

金融界 2025 年 5 月 13 日消息,国家知识产权局信息显示,南京波长光电科技股份有限公司申请一项名为“一种大数值孔径混波直写光刻镜头”的专利,公开号 CN119960271A,申请日期为 2025 年 4 月。

南京光电科技 南京波长光电申请大数值孔径混波直写光刻镜头专利,兼具紫外宽光谱等优势

专利摘要显示,本发明涉及一种大数值孔径混波直写光刻镜头,所述镜头包括第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组,从物方侧至像方侧方向上,第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组沿光的轴线方向依次排布;采用平面玻璃和 14 个透镜组成,兼具紫外宽光谱、物方数值孔径较大、整体色差较小等优势。

天眼查资料显示,南京波长光电科技股份有限公司,成立于2008年,位于南京市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本11571.8万人民币。通过天眼查大数据分析,南京波长光电科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目34次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息206条,此外企业还拥有行政许可72个。

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南京镭皓光电科技有限公司申请基于双正弦电流调制的阵列式VCSEL自混合干涉深度测量方法及系统专利,提高测量精度

金融界2025年5月24日消息,国家知识产权局信息显示,南京师范大学、南京镭皓光电科技有限公司申请一项名为“基于双正弦电流调制的阵列式VCSEL自混合干涉深度测量方法及系统”的专利,公开号CN120027727A,申请日期为2025年02月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于双正弦电流调制的阵列式VCSEL自混合干涉深度测量方法及系统,系统包括光学部分、模拟电路处理部分、数字域信号处理部分,光学部分为自制线阵激光探头及待测目标组成,模拟电路处理部分包括阵列探头激光器驱动模块和微弱信号放大模块,数字域信号处理部分包括数据采集卡和上位机的软件处理模块。本发明利用激光自混合干涉原理,通过探测激光器阵列中每个激光器两端的结电压更便捷地获取所需的自混合信号,并且利用高低频叠加的双正弦电流调制方法结合正交解调技术精确解析自混合干涉信号的相位,提高测量精度,能够实现对不同位置表面深度信息的并行获取。

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